联系人：曹经理
手机：18102435282
邮箱：15142553101@163.com
网址：www.wanbangxd.com
地址：沈阳市浑南区祥瑞产业园
设备用途
JGP-450型单室水蜜桃在线免费系统用于纳米级单层及多层功能膜、 硬质膜、 金属膜、 半导体膜、 介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、 科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
◆设备组成
系统主要由溅射真空室、 水蜜桃在线免费靶、 基片水冷加热台、 工作气路、 抽气系统、 真空测量、 电控系统及安装机台等部分组成。磁力送样机构、 工作气路、 抽气系统、 安装机台、 真空测量及电控系统等部分组成。
◆技术指标
极限真空度：≤6.6×10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到8.0×10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
水蜜桃在线免费设备性能举例：
1.用直流电源磁控沉积金属Cu膜，可以制备出沉积速度40nm/min的膜层；同时小样品的膜厚均匀性可以达到3％；可以在硬质和柔性沉底生长膜层；常温也可以沉积Cu膜，不脱落，但是结合力不好；
2.用射频电源磁控沉积氧化硅和氧化铝膜层（等各头氧化物薄膜），可以制备出沉积速度3—5nm/min的膜层；小样品膜层厚度均匀性可以达到3％；膜层的介电性能较好；
系统主要由溅射真空室、水蜜桃在线免费靶、基片加热公自转台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
