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    水蜜桃在线免费的常见故障及解决办法

    2022-09-16 13:51:31
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    水蜜桃在线免费是物理气相堆积的一种,水蜜桃在线免费通过在靶阴极外表引入磁场，使用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。水蜜桃在线免费工艺在日常操作过程中有哪些常见的毛病呢？

    水蜜桃在线免费常见毛病及解决办法

    1.无法起辉

    （1）直流电源毛病，查看直流电源；

    （2）氩气进气量小，查看氩气流量计或加大氩气进气量；

    （3）真空室清洁度不行，清洁真空室；

    （4）靶材绝缘度不行，查看靶是否与地短路，在通水的情况下，对地电阻应该在 50kΩ以上；

    （5）磁场强度不行，查看永磁体是否消磁；

    （6）真空度太差，查看真空体系。


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    2.辉光不稳

    （1）电压电流不稳，查看电源；

    （2）真空室压力不稳，查看氩气进气量及真空体系；

    （3）电缆毛病，查看电缆是否连接良好。

    3.成膜质量差

    （1）基片外表清洁度差，清洁基片外表；

    （2）真空室清洁度差，清洁真空室；

    （3）基片温度过大或过小，查看温控体系，校准热电偶；

    （4）真空室压力过大，查看真空体系；

    （5）溅射功率设置不当，查看直流电源，设置何事的设定功率。

    4.溅射速率低

    （1）氩气进气量过大或过小，调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小，据此调整氩气进气量；检修流量计；

    （2）靶材过热，查看冷却水流量；

    （3）查看永磁体是否消磁。

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